产品特点
全新外观设计，适配实验室实验操作
*进的设计理念，模块化设计
可快速拆卸和替换原有功能模块，操作便捷
支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能模块个性化定制
可实现不同功能模块的自由组合定制
配载精密的运动控制系统，提高实验精度及重复性
产品参数
转速范围：20-10000rpm
转速分辨率：±1rpm
加速度可调范围：20-50000rpm/s
单步时长：3000s
时间分辨率：0.1s
适用基片尺寸：4/6/8寸标准晶圆，非标准基片可定制载物盘
显影喷嘴距离基片高度可调，可调范围10-50mm
可添加背洗功能（根据客户需求而定）
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