全自动离子溅射仪产品参数:
1.腔体尺寸:石英玻璃,直径150mm*高度130mm
2.供电规格:AC220V,200w
3.适用靶材:贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pd 常规金属Cu、W、Ag 、Cr 等
4.样品台可调高度:20~50mm
5.样品台尺寸:直径55mm
6.工作真空度:1~10Pa
7.气体路数:单路
8.气体流量:手动调节
9.控制:触屏控制
10.外形尺寸:260mm*410mm*343mm(宽*深*高)
11.重量:10KG
12.真空泵:VRD-8
全自动离子溅射仪产品简介:
1、人性化设计,仪器操作简单,一键镀膜。
2、仪器小巧,不占空间,适用于实验室、科研院所等。
3、镀膜均匀细密,适用于多种靶材。
4、样品台可以快速调节,方便取放样品。
5、仪器性能可靠,设有多重安全保护机制。