实验室喷金仪人性化设计,仪器操作简单,一键镀膜。仪器小巧,不占空间,适用于实验室、科研院所等。镀膜均匀细密,适用于多种靶材,样品台可以快速调节,方便取放样品。仪器性能可靠,设有多重安全保护机制。
实验室喷金仪的使用技巧:
1、腔室一定要保持干净!如果可以的话,不要在喷金仪的腔室中进行蒸碳操作,最好用另一台设备进行蒸碳。(防止蒸碳污染溅射仪腔室)。
2、可以用热肥皂水定期清洁腔室,并充分干燥。不建议使用试剂,这可能会影响健康安全。如果沉积物太顽固,可以考虑使用厨房百洁布(比如思高、3M、妙洁)。
3、可以使用异丙醇清洗金属表面。但不要用丙酮,它不仅会影响健康安全,而且更难回姂干净,会影响真空性能。
4、千万不要在没有隔断真空泵的情况下,让溅射腔长时间处于真空状态。通常情况下,手动操作阀门可以隔断真空泵与腔室。如果没有阀门隔断,隔膜泵的泵油可能会回流,污染溅射腔室。
5、确保设备干燥。开始溅射前,设备要抽到要求的真空度。否则,会明显影响溅射响效率,并带来污染。
6、把机械泵固定在一个牢固的基台上。并记得定期维护机械泵。
7、溅射气体:请使用高纯氩气(>99.999%),这可以确保更快的溅射速率和更短的抽气时间。
8、如果想在表面不规则的样品上获得均匀的溅射镀层,最好使用行星式旋转样品台。