1、连接等离子清洗机和真空泵之间的真空管路，紧固O形圈卡和锁紧盖，确保连接密封且无漏气。
2、连接电源和真空泵电源。在此之前，请检查所有按钮是否必须处于重置状态。同时，检查电源插座的L、N、E接线是否与机箱后面的AC220V输入插头一致，以避免危险动作。
3、第一次打开机器本体上的红色电源开关和真空泵开关，不做其他操作，轻轻推并关闭腔室门，然后按下绿色启动按钮进行真空，以去除湿气和除湿。同时，检查是否有漏气部分：倾听漏气的声音；拉动真空室门，看其是否密封；观察压力表达到-100Kpa左右；没有上述情况是正常的。
4、操作步骤：
(1)打开电源并在显示屏上设置清洁时间；
(2)将托盘上装载的产品放入反应室；
(3)轻轻推反应室门，按下面板上的绿色启动开关，启动真空泵。
(4)压力表真空值约为-101KPa，可见离子辉光放电现象，压力表进入处理状态；同时，可以设置功率和反应气体注入量。
小型真空等离子清洗机的安装注意事项：
1、保持机器和设备外部干燥。严禁在水或冷凝的情况下使用机器和设备的所有部件；
2、为确保自身安全，操作人员必须高于电气水平面40cm；
3、严禁将变压器箱安装或放置在金属材料上。如果机器和设备周围有金属材料，应保持20cm以上的距离。否则，涡流损耗会增加变压器箱的功率和温度，甚至引起超高压电级和金属材料的自放电。
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